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    材料放氣率測試系統及其測試方法

    1034   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:23
    本發明公開了一種材料放氣率測試系統及其測試方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空計、第二真空計、第三真空計、機械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空閥門、第二真空閥門、第三真空閥門、第四真空閥門、第五真空閥門、第六真空閥門，第七真空閥門、第八真空閥門、第九真空閥門、第十真空閥門、第十一真空閥門、一個氣體流量控制器、一個減壓閥門、離子泵、一個標準氣瓶和一個恒溫箱，一方面減小了兩次分別測量過程中由于暴露大氣對裝置本底放氣影響；另一方面可以實現樣品和本底同時測量，將原有的測量過程縮短了一半時間，提高了測量效率。
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    聲明：
    “材料放氣率測試系統及其測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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