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    三重價態鈣鈦礦型錳氧化物薄膜材料及其制備和應用

    1109   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-01 00:40:05
    本發明屬于薄膜材料技術領域。薄膜組成的通式為La1－x－yMxKyMnO3，其中M＝Ca、Sr或Ba，0＜x＜1，0＜y＜1，x+y＜1。制備方法有下述步驟：(1)水熱法合成靶材。先得到三重價態鈣鈦礦型錳氧化物黑色晶體。將制得的晶體研磨，壓片，燒結，得到所用的靶材。(2)用射頻磁控濺射方法制備薄膜。在常溫下這類薄膜具有p－n結整流性質，因此可以作為獨立器件，在晶體管、集成電路、整流器、激光器以及各種光電探測器件、微波器件、光電轉換器件、量子計算集成器件等方面得到應用。
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