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    多枝狀類雪花片結構的金屬鹵化物鈣鈦礦憶阻器

    881   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-01 00:40:06
    本發明所述的一種多枝狀類雪花片結構的金屬鹵化物鈣鈦礦憶阻器，該結構由頂電極層，金屬鹵化物鈣鈦礦層、底電極層以及襯底層構成。頂電極層為金或銀納米線，納米線直徑70nm,長度為20μm；阻變層為多枝狀類雪花片結構的金屬鹵化物鈣鈦礦層，厚度為100?200nm；底電極層主要為鉑，厚度為30～70nm；襯底層，厚度為520～530μm。本發明具有如下優點：制備了一種多枝狀類雪花片結構的金屬鹵化物鈣鈦礦，該結構可有效控制阻變過程粒子的遷移路徑，降低導電通道形成的隨機性，為憶阻器性能的提升優化提供了方法。本發明采用選旋涂法，制備方法簡單，成本較低，在非易失性存儲器、存算一體器件、神經突觸模擬等領域應用廣泛，有利于探索性能優異的阻變器件。
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