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    神經形態視覺傳感器及其應用和制備方法

    991   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-02 00:30:07
    本發明提供一種神經形態視覺傳感器及其應用和制備方法,屬于半導體技術領域,所述視覺傳感器包括高k介質層、鈣鈦礦層和頂柵電極,所述鈣鈦礦層位于高k介質層之上、頂柵電極位于鈣鈦礦層之上,所述神經形態視覺傳感器在紫外至可見光波段都具備正向/負向光電流響應。本發明通過在AlGaN/GaN異質結構中引入高k介質層/鈣鈦礦層作為柵介質,將AlGaN/GaN異質結構和鈣鈦礦優異的光電性質結合在一起,所提出的視覺傳感器架構成功突破了AlGaN/GaN異質結構光電探測器單向光響應的限制,實現了有效地感知和存儲紫外線?可見光區域的光學信息。
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