本發明涉及一種制備大面積透射電鏡樣品的方法,將樣品切割研磨成長條,然后用氬離子束進行離子切割目標區域厚度到10μm;之后,把樣品轉移到離子束拋光設備上平整放置,樣品臺可以調節角度,且能夠旋轉和擺動,用氬離子束依次用18°、12°、9°、6°、3°角對樣品進行拋光減薄,用體視鏡可以觀察樣品變化;最后用低電壓的離子束進行樣品的清洗,避免了樣品制備過程中產生的非晶層,可以獲得高質量具有大面積薄區的透射電鏡樣品,從而應用于礦物、隕石等復雜材料的透射電鏡測試和結合納米粒子探針/電子探針等原位分析技術中。
聲明:
“大面積薄區透射電鏡樣品的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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