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    鈦酸鍶鋇薄膜材料的制備方法

    1044   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-02 00:40:04
    本發明公開了一種鈦酸鍶鋇薄膜材料的制備方 法,該方法采用直流磁控濺射法制備Pt/Ti底電極,采用 BaxSr1- xTiO3陶瓷靶材 及射頻磁控濺射設備,在較低功率下預濺射后,在正常工藝條 件下濺射BST薄膜,然后在O2 氣氛中進行慢速熱處理,如此重復進行三次;最后,采用直流 磁控濺射在BST薄膜上制備上電極,得到具有夾心結構的材料 樣品。采用本發明的方法能得到具有鈣鈦礦結構、晶粒大小均 勻、鐵電性能較好的BST鐵電薄膜,該鐵電薄膜可用于動態隨 機存儲器、介質移相器、壓控濾波器、熱釋電紅外探測器等領 域。
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