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    硅基多重膜結構的薄膜氣敏元件

    797   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-02 00:40:05
    本實用新型是一種硅基多重膜結構的薄膜氣敏元件。它由絕緣介質膜把金屬膜加熱電阻與氣敏端子和氣敏電阻薄膜及硅基片分層隔離。它不受硅器件結溫的限制?？梢砸驓饷舯∧げ牧系母鞣N選擇而制成具有不同檢知功能的各種針對不同氣體的氣敏元件。是化工、油田、煤礦等安全生產和火箭發射燃料檢漏、建筑防火探測報警,以及環境監測、食品保鮮度和駕駛司機是否飲酒等等的監察檢測手段之傳感器核心元件。
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