• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 礦山技術

    > 探礦技術

    > 曝光裝置、曝光法和器件制造法

    曝光裝置、曝光法和器件制造法

    882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-03 00:30:14
    在掩模臺(RST)上固定一個其上形成有至少一個針孔狀圖案的基準板(RFM),掩模臺(RST)上固持地移動掩模(R)。因此,例如可以不用任何特殊類型的測量用掩模,通過把連結型波前測量儀(80)設置到襯底臺(WST)上、利用照明系統(IOP)照射基準板并利用波前測量儀接收通過投影光學系統在針孔狀圖案處產生的球面波,來測量投影光學系統(PL)的波前象差。因此,可以以理想的計時很容易地測量投影光學系統的波前象差,這使得能夠對投影光學系統進行充分地質量控制。因此,可以利用進行了充分地質量控制的投影光學系統把掩模圖案精確地轉印到襯底上。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “曝光裝置、曝光法和器件制造法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    探礦技術
    上一個：右轉和直行暢通的四個獨立“Y”字形分叉橋的組合橋
    下一個：具有并列鑲齒的牙輪鉆頭

    與 “曝光裝置、曝光法和器件制造法” 相關技術

    ? 槽式洗礦機密封裝置
    ? 風化殼型磁赤褐混合鐵礦石高效節能選礦工藝
    ? 礦山開采用滾筒洗礦機
    ? 低品位氧化錳礦的分選方法
    ? 礦石濃縮壓縮加工工藝
    ? 復鉚式強力洗礦機
    ? 實現多級篩分的雙籠洗礦機
    ? 圓筒洗礦機造漿裝置及其使用方法
    ? 鋰礦石開采用分選螺旋洗礦機
    ? 槽式洗礦機草根清理裝置

    相關探礦設備推薦

    多級立式氣流粉碎機
    石灰巖破碎機
    中藥打粉機
    螺旋滾筒篩
    實驗浮選機
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?槽式洗礦機密封裝置
    ?風化殼型磁赤褐混合鐵礦石高效節能選礦工藝
    ?礦山開采用滾筒洗礦機
    ?低品位氧化錳礦的分選方法
    ?礦石濃縮壓縮加工工藝
    ?復鉚式強力洗礦機
    ?實現多級篩分的雙籠洗礦機
    ?圓筒洗礦機造漿裝置及其使用方法
    ?鋰礦石開采用分選螺旋洗礦機
    ?槽式洗礦機草根清理裝置

    報名參會
    更多+

    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日
    第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
    第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
    2025年08月15日 ~ 17日
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025年08月18日 ~ 20日

    報告下載

    1 浮選藥劑與礦物作用的配位理論
    下載:312
    2 磨礦浮選智能控制的工程實踐
    下載:251
    3 銅鉛鋅氧化礦強化硫化浮選理論
    下載:218
    4 基于CFD-PBM和CFD-DE
    下載:215
    5 微細粒尾礦膏體濃縮及膠結充填技
    下載:200
    6 多固廢協同的固廢基膠凝材料混凝
    下載:197
    7 基于選礦工藝流程的尾礦優選組合
    下載:181
    8 新藥劑在鋰礦資源高效開發利用中
    下載:165
    9 鉛鋅銀多金屬氧化礦石 工藝礦物學
    下載:158
    10 表面粗糙度對水滴在菱鎂礦表面粘
    下載:151
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1礦山生態修復邊坡嵌入式綠化結構
    2采礦用礦石粉碎篩細分裝置
    3礦產分選機和緩沖裝置
    4礦山采礦安全防護裝置
    5銅礦石中汞含量的測定方法
    6銅捕收劑及硫化銅鈷礦的浮選工藝
    7基于三維點云的物料堆自動提取和體積測量方法及系統
    8自然崩落采礦的底部受礦結構及采礦方法
    9傾斜層狀固體礦床放礦開采方法
    10具有除塵功能的礦用破碎機
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>