本發明公開了一種高穩定、低暗電流全無機鈣鈦礦光電探測器及其制備方法。所述倒置結構光電探測器包括透明導電正電極、超薄氧化鋁層、全無機鈣鈦礦光吸收層、電子傳輸層、金屬負電極。所述制備方法是采用ALD沉積超薄氧化鋁薄膜和氧化鈦薄膜,制得器件暗電流低、穩定性高,器件暴露空氣超過100天仍然表現出良好的光電性能。在鈣鈦礦與金屬電極界面引入超薄氧化鈦薄膜,實現界面能帶匹配,提高器件了響應速度和靈敏度。本發明制備方法適用于柔性探測器制作,為實現無機鈣鈦礦光電探測器及其柔性器件產業化,提供一種有效、可行、低成本的方案。
聲明:
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