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    GeSn/鈣鈦礦異質結寬光譜探測器及其制作方法

    873   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-02-23 20:20:25
    一種GeSn/鈣鈦礦異質結寬光譜探測器及其制作方法，該GeSn/鈣鈦礦異質結寬光譜探測器包括：襯底；GeSn層，形成于所述底的一表面；鈣鈦礦層，形成于所述GeSn上；下電極，形成于所述襯底的另一表面；上電極，形成于所述鈣鈦礦層上。本發明還提供了該GeSn/鈣鈦礦異質結寬光譜探測器的制作方法。本發明所提供的GeSn/鈣鈦礦異質結寬光譜探測器的吸收波長可覆蓋從紫外光到中紅外范圍，成本低廉、可大批量生產，在遙感、光通信、成像、氣體檢測、夜視、生物醫學等領域有著重要應用前景。
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