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    鈣鈦礦X射線探測器的封裝面板及其制備方法

    1002   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-02-25 02:00:01
    本申請涉及半導體光電探測器領域，尤其涉及一種鈣鈦礦X射線探測器的封裝面板及其制備方法；鈣鈦礦材料層，鋁膜層，以及薄膜層，鋁膜層設置于鈣鈦礦材料層與薄膜層之間，且與鈣鈦礦材料層和薄膜層相鄰設置；其中，薄膜層為含硅元素的一個或多個無機薄膜層；所述方法包括：對基板的表面進行TFT驅動器件成型，再在成型的TFT驅動器件表面進行鈣鈦礦材料層成型，得到功能單元；在功能單元中鈣鈦礦材料層的表面貼封鋁膜層，后在鋁膜層表面上沉積第一無機薄膜層和第二無機薄膜層，得到含防水氧結構的封裝面板；通過鋁膜層和薄膜層，避免水氧環境對鈣鈦礦層材料的侵蝕，起到有效封裝。
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    聲明：
    “鈣鈦礦X射線探測器的封裝面板及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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