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    新型鈣鈦礦光電探測器及其制備方法

    981   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-02-25 02:00:01
    本發明公開了一種新型鈣鈦礦光電探測器及其制備方法，屬于光電探測技術領域。本發明提供了一種基于TiO2電子傳輸層和無機金屬氧化物界面修飾層的鈣鈦礦光電探測器及其制備方法，探測器包括在導電基底上通過原子層沉積技術生長的TiO2致密層作為電子傳輸層，接著制備一層有機無機雜化鈣鈦礦薄膜作為光敏層，隨后沉積一層spiro?OMeTAD空穴傳輸層，接著沉積一層無機氧化物界面修飾層(包括MoO3、WO3或者V2O5的一種)，最后沉積一層Au或者Ag作為金屬電極。所述TiO2作為電子傳輸層和無機氧化物作為界面修飾層，提升了光電探測器壽命、降低了探測器的暗電流，提高了其探測率，降低了器件的制備成本，有利于實現鈣鈦礦光電探測器的產業化。
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    聲明：
    “新型鈣鈦礦光電探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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