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    > 有機-無機雜化的無鉛氯化物鈣鈦礦薄膜可見光盲紫外探測器及其制備方法

    有機-無機雜化的無鉛氯化物鈣鈦礦薄膜可見光盲紫外探測器及其制備方法

    1072   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-02-25 02:00:02
    本發明屬于光電探測器器件制造技術領域，具體涉及一種有機?無機雜化的無鉛氯化物鈣鈦礦薄膜可見光盲紫外探測器及其制備方法。所述制備方法包括以下步驟：在表面有絕緣層的襯底上制備MASnCl3薄膜后蒸鍍叉指電極，或在表面有絕緣層的襯底上蒸鍍叉指電極后制備MASnCl3薄膜。本發明提供了一種金叉指電極的共平面MSM結構的MASnCl3薄膜可見光盲紫外探測器，其制備方法可生長得到致密的且結晶度良好的MASnCl3薄膜，制備的紫外探測器響應度高，為制備高靈敏度的鈣鈦礦可見光盲紫外探測器提供新的思路。
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    “有機-無機雜化的無鉛氯化物鈣鈦礦薄膜可見光盲紫外探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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