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    > 具有金字塔結構的柔性鈣鈦礦光電探測器及其制備

    具有金字塔結構的柔性鈣鈦礦光電探測器及其制備

    1055   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-02-25 02:00:03
    本發明涉及一種具有金字塔結構的柔性鈣鈦礦光電探測器及其制備，制備方法包括以下步驟：1)制備具有微納正金字塔結構的硅模板；2)采用熱壓印方式將硅模板上的微納金字塔圖案轉移到柔性基底上；3)在柔性基底上旋涂鈣鈦礦前驅體溶液，并進行烘干，得到帶有鈣鈦礦結晶的柔性基底；4)在帶有鈣鈦礦結晶的柔性基底上磁控濺射電極，即得到具有金字塔結構的柔性鈣鈦礦光電探測器。與現有技術相比，本發明結合了微納結構、鈣鈦礦、柔性光電探測器等幾大熱點研究領域，將微納金字塔結構應用于新興的柔性鈣鈦礦光電探測器中，以增強其光電探測性能，且成本低廉，制備過程簡便。
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