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    基于鐵電鈣鈦礦PbTiO3/TiO2的快速響應恢復型紫外光電探測器及其制備方法

    807   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-02-25 02:00:05
    一種基于鐵電鈣鈦礦PbTiO3/TiO2的快速響應恢復型紫外光電探測器及其制備方法,屬于紫外光電探測技術領域。其從下到上由石英襯底、PbTiO3鐵電材料薄膜、TiO2薄膜、Au叉指電極組成,PbTiO3鐵電材料薄膜和TiO2薄膜組成PbTiO3/TiO2復合異質結光敏感層,其厚度為200~300nm;待測的紫外光從石英襯底一側入射。本發明通過鐵電鈣鈦礦材料和傳統半導體材料構建復合異質結,鐵電材料所具有的退極化場可以增加電子和空穴的分離以及運輸效率,同時能大大減弱電子空穴對在分離后產生的復合效應,有效提高器件內部載流子的遷移效率,降低傳統半導體材料的暗電流,并提升其響應恢復特性。
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