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    光學元件的偏振性能檢測方法及檢測系統

    1051   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:16:38
    本發明提供一種光學元件的偏振性能檢測方法和一種偏振性能檢測系統。利用光強?瓊斯矩陣模型分別計算光路系統在離線狀態下和在線狀態下的重構光強相對于實測光強的變化，基于光強變化和相應的重構后瓊斯向量獲得Γ矩陣的修正量，在理想Γ矩陣的基礎上獲得更匹配光學系統真實偏振性能的修正Γ矩陣，實現對偏振性能的標定，進而利用修正后的Γ矩陣可以得到光學元件的瓊斯矩陣。根據修正后的Γ矩陣以及相應的瓊斯矩陣可以檢測該光學元件樣品的偏振性能。通過聯合離線和在線實測數據標定偏振性能，使所得到的修正Γ矩陣逼近所應用的光學系統的實際偏振性能的真實Γ矩陣，可以精確檢測光學系統的偏振性能，進而有利于控制偏振像差，提高成像質量。
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