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    晶圓級微透鏡陣列的測試結構及其測試裝置

    1087   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 06:30:36
    本實用新型提供一種晶圓級微透鏡陣列的測試結構及其測試裝置,測試結構包括:晶圓放置組件和透光組件;晶圓放置組件包括外支撐環以及鏤空區域,用于放置形成有微透鏡陣列單元的待測晶圓,外支撐環邊緣具有缺口且包含限位邊界和放置臺階;透光組件,位于晶圓放置組件的一側表面,正對鏤空區域設置,邊緣固定于外支撐環。測試結構用于將待測晶圓放置于鏤空區域,光源透過透光層產生具有測試圖形光場,檢測待測晶圓上微透鏡的解析力和漏光等性能。測試裝置通過測試結構進行微透鏡性能檢測,將拍攝到的待測晶圓的測試圖像與標準圖像比較,獲得測試結果,并根據測試結果輸出測試圖譜,定位有缺陷的微透鏡陣列單元的位置。
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