Filmetrics F54 白光干涉膜厚測量儀
簡介
Filmetrics F54 白光干涉膜厚測量儀能以一個電動R-Theta平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米,可選擇數十種內建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數量限制之測量點.只需具備基本電腦技能,就可在數分鐘內自行建立配方。
Filmetrics F54 白光干涉膜厚測量儀產品介紹:
Filmetrics F54 白光干涉膜厚測量儀能以一個電動R-Theta平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達450毫米,可選擇數十種內建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數量限制之測量點.只需具備基本電腦技能,就可在數分鐘內自行建立配方。
Filmetrics F54 白光干涉膜厚測量儀產品特點:
自動化薄膜厚度繪圖系統,快速定位、實時獲得結果;
可測樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量;
測繪結果可用2D或3D呈現,方便用戶從不同的角度檢視;
Filmetrics F54 白光干涉膜厚測量儀測量原理:
當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。