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    化學機械拋光終點檢測裝置

    893   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:38:39
    本發明公開了一種化學機械拋光終點檢測裝置，包括：裝置與化學機械拋光平臺配合使用，化學機械拋光平臺的拋光盤上設置有窗口，裝置包括：平面反射鏡；搭載平面反射鏡的轉軸，轉軸用于調整平面反射鏡的角度；光發射模塊，用于發出激光線，激光線經由平面反射鏡通過窗口照射到拋光盤上的晶圓表面；光檢測模塊，用于接收經由窗口接收晶圓的反射光線，以根據反射光線確定化學機械拋光工藝的終點。該實施例的化學機械拋光終點檢測裝置通過轉軸可調節激光線射向化學機械拋光平臺的拋光盤上窗口的角度，由此，提高了該裝置的可調節性，容錯性，可適用于不同廠家的化學機械拋光平臺。
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    聲明：
    “化學機械拋光終點檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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