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    用于化學檢測和(生物)分子診斷的表面聲波RFID傳感器

    1196   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:44:48
    本發明描述了基于表面聲波(SAW)換能器和二維電子氣(2DEG)或二維空穴氣(2DHG)導電結構的組合的射頻識別(RFID)傳感器的實施方案，及其在化學檢測和(生物)分子診斷中的用途。SAW?RFID傳感器芯片包含在其上沉積多層異質結結構的壓電襯底。所述異質結結構包括至少兩層即緩沖層和阻擋層，其中兩層均由III?V單晶或多晶半導體材料諸如Ga?N/Al?Ga?N生長。轉換SAW的叉指換能器(IDT)安裝在所述阻擋層的頂部。2DEG或2DHG導電溝道形成在所述緩沖層和所述阻擋層之間的界面處，并且在連接到所形成的溝道的非歐姆(電容耦合)源極和漏極接觸之間的系統中提供電子或空穴電流。
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    “用于化學檢測和(生物)分子診斷的表面聲波RFID傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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