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    用以感測化學物質的微型傳感器

    1003   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:47:31
    本發明提供一種用以感測一化學物質的微型傳感器。本發明的微型傳感器包含一基板、一微懸臂梁、一電極結構以及一測量組件。所述微懸臂梁形成于所述基板上并且具有用以捕捉所述化學物質的一捕捉面。所述電極結構用以提供一電場,所述電場設置成輔助所述捕捉面捕捉所述化學物質。所述測量組件耦接至所述微懸臂梁,所述測量組件用以測量由被捕捉的所述化學物質引發所述微懸臂梁的一機械性質的一變化量,并且將所述變化量轉譯成與所述化學物質相關的一信息。
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