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    控片及其制造方法和化學機械研磨缺陷的監測方法

    854   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:49:08
    本發明提供了一種控片及其制造方法和化學機械研磨缺陷的監測方法，通過在基底的上表面上形成圖形化的第一介質層，以及至少填滿所述圖形化的第一介質層的溝槽的第二介質層，以制造出所述控片。將所述控片放置在化學機械研磨機上研磨后進行處理，以去除所述第一介質層；然后，掃描經過所述處理后的所述控片的表面，以獲得所述控片的上表面的缺陷，以實現對所述化學機械研磨缺陷的監測。本發明提供的控片提高了控片表面上的缺陷與背景的比對度，進而提高光學掃描機臺對化學機械研磨造成的缺陷的抓取率，實現對所述化學機械研磨缺陷的有效監控。
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    “控片及其制造方法和化學機械研磨缺陷的監測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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