本發明公開了一種涂鍍材料表面亞毫米級缺陷分析方法包括宏觀觀察、截面試樣制備、拋光和綜合分析,突破了傳統缺陷分析中截面試樣制備對缺陷尺寸的限制,在不借助FIB/SEM雙束系統或是化學法去除表面涂鍍層的情況下,對表面亞毫米級別的截面試樣進行了制備并分析,保留試樣的有效信息,有效解決了涂鍍表面亞微米缺陷分析中截面試樣制備的難題。
聲明:
“涂鍍材料表面亞毫米級缺陷分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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