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    智能芯片化學研磨液供給方法

    1147   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:58:59
    本發明公開了智能芯片化學研磨液供給方法，所述方法包括如下步驟：1.廠務水電氣與設備相連接，并打開廠務端閥門；2.設備接通電源，旋轉開關給設備上電；3.等待設備初始化完成；4.輸入配方到數據庫；5.按下操作電源啟動按鈕；6.設備自動啟動并執行清洗程序；7.混料罐和供料罐分別清洗3次后自動關閉；8.設備準備完畢，可以執行任務；9.選擇配方；10.搬運原料桶至設備原料秤；11.掃碼槍掃描原料桶編碼；12.系統進行對比，判斷編碼與數據庫中記錄的配方是否一致，重量是否一致。本發明在通過電導率液體監測的同時運用智能計算深度學習方法量化檢測，能夠進行更高效、高精度的化學研磨液供給系統來進行研磨液體的供給。
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    聲明：
    “智能芯片化學研磨液供給方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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