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    等離子體化學氣相沉積設備進氣機構

    683   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:59:00
    本實用新型適用于化學氣相沉積技術領域，提供了一種等離子體化學氣相沉積設備進氣機構，包括筒體、端蓋、平滑段和固定盤一，所述平滑段固定安裝于端蓋的側面，平滑段側面安裝有過渡段，其與筒體同軸線布置；所述固定盤一布置于筒體的內壁，固定盤一與筒體內側安裝的固定盤二平行布置，固定盤一和固定盤二均與過渡段之間形成流道，且固定盤二上流道的直徑大于固定盤一上流道的直徑，以便于氣體流動；本進氣結構在使用時，能對進入設備的氣體溫度進行檢測，并將氣體加熱到所需的溫度，還能從側面將氣體均勻的向外排出，以便于化學氣相沉積設備使用，從而保證其以最佳的狀態運行。
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