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    等離子體化學氣相沉積法制備光纖預制棒的裝置

    998   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:59:00
    本實用新型公開了一種等離子體化學氣相沉積法制備光纖預制棒的裝置，包括底板以及加熱爐，所述加熱爐的頂部插接有兩組限位銷，且限位銷設置在加熱爐得到前后兩端，所述擋板兩側外壁開設有一號滑槽，并在加熱爐的兩側內壁開設有二號滑槽，且限位銷插接在一號滑槽和二號滑槽之間。本實用新型所述的一種等離子體化學氣相沉積法制備光纖預制棒的裝置，一是通過在石英管組件的中心設置中心靶棒，使該裝置可以用來進行常規的等離子體化學氣相沉積，也可以同時相對于中心的石英棒進行等離子體外沉積，特別適合生產帶低折射率包層的預制棒；二是通過在加熱爐的外部設置限位銷，能夠對裝置內的器件進行修理與檢測，從而降低裝置修理的難度。
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    化學分析
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