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    流體化學品智能供應系統

    799   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:47
    本實用新型公開了一種流體化學品智能供應系統，具體涉及半導體制造領域。該系統主要包括主箱柜、電控箱、上門、下門、原液鋼瓶、供液鋼瓶、操控屏、控制管路、監測傳感器。原液鋼瓶是用于供給設備流體化學品；供液鋼瓶是為設備系統供應原液到管道輸出單元；操控屏是設置運行參數和系統的人機交互界面；控制管路用于液體化學品的供應控制；監測傳感器用于管路系統運行過程中的監測。本實用新型推進了半導體加工設備的升級，優化晶圓制造環節的方案，主要針對是晶圓制造過程中化學氣相沉積環節，通過流體化學品智能供應系統可以安全及集中供應液體化學品到芯片加工設備，為促進我國芯片制造升級邁進一步。
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    聲明：
    “流體化學品智能供應系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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