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    監控電子顯微鏡化學油污污染的方法

    712   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:50
    一種監控電子顯微鏡化學油污污染的方法，包括：建立短流程工藝，短流程工藝至少包括依次執行的金屬阻擋層生長步驟、金屬填充步驟以及金屬平坦化步驟；在電子顯微鏡進行添加潤滑油之后，選用短流程硅片，對剛好執行完金屬阻擋層生長步驟后的硅片進行缺陷觀察動作；將被觀察的硅片按照所建立的短流程工藝流片到執行完金屬平坦化步驟；在金屬平坦化步驟后對硅片進行缺陷檢查以確定被觀察的硅片是否存在金屬損傷缺陷。如果被觀察的硅片不存在金屬損傷缺陷，確定不存在電子顯微鏡化學油污污染。如果被觀察的硅片不存在金屬損傷缺陷，確定不存在電子顯微鏡化學油污污染。本發明可監控電子顯微鏡是否受到化學物污染，避免污染在線產品，為良率提供保障。
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