本發明公開了一種化學機械平坦化加工動態聲學識別方法、裝置及介質,屬于模式識別技術領域。本技術方案包括:獲取實時監測加工過程中工件發出的聲學量;針對聲學量,基于聲壓測量的單全息面模型進行加工聲源和噪聲聲源的分離;依照工件特征對應的聲強和頻段,對降噪后的加工聲源進行小波分解和時頻轉換;提取工件特征對應聲信號頻段的特征參數;加工聲信號的聚合分類,識別加工動態;輸出工件宏觀和微觀狀態可視化信息,本發明設計的聲學識別方法能夠對噪聲進行準確分離,同時將聲學現象背后的工件特征和聲信號特征參數作為聲學識別結果的依據,以聲信號樣本點密度函數作為聚類中心初始值,提高了化學機械平坦化加工動態識別的準確性和時效性。
聲明:
“化學機械平坦化加工動態聲學識別方法、裝置及介質” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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