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    晶圓的化學機械研磨裝置

    1203   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:14
    一種晶圓的化學機械研磨裝置,其特征是:它的研磨平臺具有發射特定光線的光源發射器及偵測經由晶圓所反射的特定光線的光線偵測器;設置于研磨平臺上的研磨墊具有第一開口;透光構件拆裝式地設置于該第一開口;研漿供應系統供應研漿至研磨墊表面;旋轉載具固持并旋轉晶圓,晶圓表面與研漿和研磨墊接觸進行化學機械研磨制程。具有簡化更換研磨墊的步驟、降低生產成本及有效解決因為滲水而造成研磨終點誤判的功效。
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