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    制備化學氣相沉積態錸EBSD樣品的方法

    1123   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:15
    本發明提供了一種制備化學氣相沉積態錸EBSD樣品的方法，從化學氣相沉積錸樣品上用電火花線切割的方法切得一塊長方體，運用導電鑲嵌料進行熱鑲嵌，將鑲嵌好的樣品用砂紙由粗磨到細磨光，將細磨后的樣品用水溶性金剛石拋光膏拋光，拋光膏的稀釋液用無水乙醇；再將機械拋光后的樣品進行電解腐蝕；最后用清水將樣品表面充分洗凈，再用洗耳球將其吹干。本發明的有益效果是：采用本發明的機械拋光加腐蝕的方法制備EBSD樣品，操作簡單、方便、設備費用低廉；電解腐蝕所用的草酸酸性較弱，安全性系數較高；制備的EBSD樣品能夠很好的去除樣品表面機械應力，不給表面帶來污染及組織改變，獲得高質量的EBSD測試樣品。
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    聲明：
    “制備化學氣相沉積態錸EBSD樣品的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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