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    用于金屬有機化學氣相沉積系統中的加熱裝置

    791   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:16
    本發明公開了一種用于金屬有機化學氣相沉積系統中的加熱裝置,它包括襯底、石墨舟、感應圈和托架,特征是石墨舟由扁平圓柱體和圓筒體構成,圓筒體加工在扁平圓柱體的底部中央。在圓筒體內加工有用于插入測溫頭的凹槽。本發明由于在傳統的扁平圓柱體形狀的石墨舟底部中央加工有一圓筒體,當感應圈通電工作時,石墨舟下部的圓筒體處在場強最高的區域,會吸收更多的電磁能而產生更多的熱量,熱量會向上傳導使石墨舟的中心區域得到熱量的補充,從而達到整個石墨舟上表面的溫度均勻。當工作溫度在600℃以上時,本發明可將襯底溫差控制在2℃以內。因此本發明具有能夠提高石墨舟的溫度均勻性從而進一步提高材料生長的均勻性、結構簡單的優點。
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    “用于金屬有機化學氣相沉積系統中的加熱裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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