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    基于高純球形硅溶膠的環保型化學機械拋光液及其制備方法和拋光方法

    1096   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:25
    本發明屬于化學機械拋光液技術領域，具體涉及一種基于高純球形硅溶膠的環保型化學機械拋光液及其制備方法和拋光方法。粗拋拋光液包括以下重量百分比的各組分：高純球形硅溶膠0.5?25％，表面活性劑0.15?0.5％，氧化劑2?5％，pH調節劑10?20％，螯合劑2?5％，余量為水。精拋拋光液包括以下重量百分比的各組分：高純球形硅溶膠0.5?30％，表面活性劑0.25?0.70％，氧化劑2?5％，pH調節劑10?18％，螯合劑2?5％，余量為水。本發明所提供的拋光液高純、穩定，經測試后表面光澤度高、去除率高、平坦均勻，幾乎無劃痕，無污染物，拋光效果優異。
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    “基于高純球形硅溶膠的環保型化學機械拋光液及其制備方法和拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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