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    實時檢測非球面的全息干涉裝置

    1137   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:26
    本發明屬于光學波面面形檢測領域中實時檢測非球面面形的一種全息干涉裝置,由平面鏡17,分束器3、光源1、擴束器2、分束器3、參考平面鏡4、零位補償器5,計算全息圖6、成象透鏡7、空間濾波器8、面陣探測器9、偏振分束器10、成象系統11、顯示器12、計算機13、起偏鏡15和16、面陣探測器18構成。本發明要解決的問題是可分別用于粗加工和精加工階段的檢測。避免繁瑣的化學顯影處理及由此產生的隨機檢測誤差。本發明功能齊全、檢測量程大、使用范圍廣、使用簡便、制造容易、檢測精度高、干涉圖易于分析和處理等優點。
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    聲明：
    “實時檢測非球面的全息干涉裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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