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    化學機械研磨系統及其方法

    938   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:21
    一種用于化學機械研磨裝置的系統及其方法。本揭露的一些實施方式說明一種從多層研磨墊移除可消耗的(例如，犧牲的)研磨墊層的方法及其裝置。此方法包括測量多層研磨墊的頂研磨墊層的厚度輪廓，并比較厚度輪廓與閾值。此方法響應于厚度輪廓高于閾值，清洗多層研磨墊的頂研磨墊層，并在頂研磨墊層被清洗之后，移除頂研磨墊層以暴露多層研磨墊的下面的研磨墊層。
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