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    化學氣相沉積機臺之板狀構件的平坦度處理方法

    1027   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:22
    本揭示提供一種化學氣相沉積機臺之板狀構件的平坦度處理方法，其包含：(a)繪制對應于一CVD板狀構件的一座標系，該座標系上包含若干個座標點；(b)量測每個座標點的平坦度；(c)判斷各個座標點的平坦度是否符合一預定平坦度；以及(d)若該各個座標點的平坦度不符合該預定平坦度，則在常溫下以一壓頭向需要進行平坦度調整的座標點施予壓力，并回到步驟(b)和(c)。本揭示能夠減少CVD板狀構件的平坦度調整時間。
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    化學分析
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