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    半導體清洗設備工作狀態的監測系統及檢測方法

    789   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:11:26
    本發明公開了一種半導體清洗設備工作狀態的監測系統，包括燈塔和燈塔控制單元。燈塔具有指示燈和蜂鳴器，其根據控制信號輸出顏色或聲音或顏色和聲音的組合。燈塔控制單元與清洗設備的機械手單元、裝卸載硅片單元、化學藥液傳輸單元、清洗工藝腔室單元、暫存硅片單元、以及所述燈塔相連。燈塔控制單元通過配置文件配置每一單元的不同狀態及各單元不同狀態的組合與燈塔的輸出之間的對應關系；并發送指令至各單元、根據各單元對指令的執行狀態反饋信息發送信號至燈塔使其輸出相應的顏色和/或聲音。本發明使得設備操作者能夠及時發現清洗設備出現問題并迅速做出響應。
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