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    Sn摻雜β-Ga2O3膜及其日盲紫外探測器的制備方法

    1147   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:23:21
    一種Sn摻雜β?Ga2O3膜及其日盲紫外探測器的制備方法,所述制備方法是將Ga2O3粉末、SnO2粉末與碳粉末按比例混合研磨,得到固體混合粉末;以混合粉末為反應源,放在高溫管式爐中,利用化學氣相沉積方法,以氧氣為氧源,惰性氣體為載氣,在襯底上獲得Sn摻雜β?Ga2O3膜;并在所述Sn摻雜β?Ga2O3膜上采用叉指電極制備工藝制備平面金屬叉指電極結構,獲得探測器,本發明具有探測范圍可調、暗電流可調、響應度可調、響應速度可調以及良好的穩定性、可重復性和可靠性,在紫外強度標定、高壓漏電檢測、水凈化、殺菌消毒、紫外生物傳感、紫外通訊、臭氧空洞監測、高溫火焰監控和導彈預警等領域里具有非常廣闊的應用前景。
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