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    能源節約和全球氣體排放監測

    1089   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:24:15
    提供用于增強控制、監測和記錄電子裝置制造系統的引入化學物和功率使用以及排放的方法和設備。在一些實施例中，集成輔助生產層系統可以監測輔助生產層裝備的能源使用。對于系統，工具可以進入許多不同深度的能源節約模式中，例如空閑(淺層能源節約，其中生產裝備可以在數秒內恢復至正常生產而不影響質量或產量)、睡眠(深層能源節約，其中生產裝備可以在數分鐘內恢復)、或休眠(其中生產裝備會需要數小時來恢復，以不影響質量或產量)。在一些實施例中，系統可以監測并顯示在輔助生產層內的所有氣體排放，以及Semi？S23方法報告CO2當量排放。系統可以監測來自處理工具和輔助生產層裝備的排出物處理氣體以及能源使用。
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