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    預測在熱蝕刻與原子層蝕刻中的蝕刻特性

    833   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:58
    使用機器學習模型預測熱蝕刻反應中的蝕刻。使用量子力學模擬來識別給定熱蝕刻反應的一或多個反應路徑中的蝕刻工藝的化學特性和相關能量。指示蝕刻特性的標簽可與給定熱蝕刻反應的化學特性和相關能量相關聯。機器學習模型可使用化學特性和相關能量作為自變量以及使用標簽作為不同類型的許多不同蝕刻反應的因變量來進行訓練。當在機器學習模型中提供新的熱蝕刻反應的化學特性和相關能量作為輸入時，機器學習模型可準確地預測新的熱蝕刻反應的蝕刻特性作為輸出。
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