• <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置:中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    > 化學分析技術

    > 測量光子晶體孔洞側壁垂直度的方法

    測量光子晶體孔洞側壁垂直度的方法

    758   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:58
    本發明公開了一種測量光子晶體孔洞側壁垂直度的方法,包括:在半絕緣砷化鎵襯底上,外延生長一定厚度的AlGaAs犧牲層;在AlGaAs犧牲層上外延生長一定厚度的砷化鎵;在砷化鎵層上外延生長一定密度InAs量子點;外延生長一定厚度的砷化鎵,將InAs量子點埋住;在砷化鎵上采用等離子體化學氣相淀積法(PECVD)鍍上一層SiO2薄膜;在SiO2薄膜上懸涂一層電子束膠;采用電子束曝光法在電子束膠上制作光子晶體圖形;采用反應離子刻蝕方法將電子束膠上的光子晶體圖形轉移至SiO2上,并去膠;采用掃描電鏡(SEM)對樣品進行測試,觀測并計算光子晶體孔洞的垂直度。利用本發明,不用觀察光子晶體孔洞截面,只測試光子晶體表面,便可測試出光子晶體孔洞側壁垂直度。
    登錄解鎖全文
    聲明:
    “測量光子晶體孔洞側壁垂直度的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽:
    化學分析
    全國熱門有色金屬技術推薦
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    報名參會
    更多+

    報告下載

    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股(集團)有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話:
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
  • <tr id="qwu6y"></tr>
  • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>