一種在超過400℃溫度下可操作的感測器。本發明的感測器的操作無須液體充填,該感測器是無孔隙、無污染,且無外在暴露金屬元件。該感測器包括一無孔隙不滲透的感測隔膜,其可置于高度潔凈環境直接與流體接觸。無孔隙表面被包括作為玻璃裝配于支撐板的單晶藍寶石層。本發明的感測器可適用于呈化學惰性的壓力傳感器,以感測在過程流體中的壓力及/或溫度,且可直接模制成形為壓力傳感器模塊的高溫塑膠殼體。
聲明:
“可用于高度潔凈及高腐蝕性環境的感測器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)