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    側面進光的雙臺形高速光探測器的連體式雙管芯

    1118   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:59
    本發明公開了一種側面進光的雙臺形高速光探測器的連體式雙管芯;涉及一種光探測器;具體地說,涉及光探測器的管芯結構。該管芯是在摻鐵的半絕緣半導體InP襯底1上,通過有機金屬化學汽相淀積技術,沿著垂直方向逐次生長緩沖層2、下光波導層3、光吸收層4、上光波導層5、光限制層6和接觸層7;通過刻蝕技術,使之形成孤島狀上、下兩個臺形部分;上臺形部分包括3至7層,其水平面為(半橢圓-矩形-半橢圓)形狀;下臺形部分是第2層,為矩形形狀。最后通過解理技術,把連體式管芯分成2個側面進光的光探測器管芯。該管芯具有結構簡單、體積小、進光平面解理容易、芯區面積可微調、組裝耦合方便、和共面波導連接兼容等特點。
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    “側面進光的雙臺形高速光探測器的連體式雙管芯” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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