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    清洗單元的清洗效率偵測方法

    868   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:47
    一種清洗單元的清洗效率的偵測方法，包括：提供若干批次基底，基底表面具有凹槽，凹槽的頂部寬度大于底部寬度，對不同批次基底進行如下處理：形成覆蓋基底且填充滿凹槽的多晶硅材料層；對多晶硅材料層進行化學機械研磨，形成表面與基底表面齊平的多晶硅層；對研磨后的多晶硅層表面寬度進行測量，獲得第一寬度；采用清洗單元對多晶硅層表面進行清洗；刻蝕多晶硅層，使多晶硅層的頂部寬度減??；對刻蝕后多晶硅層表面寬度進行測量，獲得第二寬度；進行上述處理之后，按照清洗順序，依次比較每個批次的基底所對應的第一寬度與第二寬度之間的差值；根據差值變化，判斷所述清洗單元的清洗效率是否下降。上述方法可以實現對清洗單元的清洗效率的偵測。
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