本發明公開了一種氣體凈化裝置,該氣體凈化裝置用以接收化學液體以與氣體混合,并用以凈化氣體。氣體凈化裝置包括多個液體狀態檢測器、多個氣體狀態檢測器、多個泵送馬達、氣體驅動馬達以及控制器。液體狀態檢測器配置在傳輸化學液體的傳輸通道中,偵測化學液體的多個液體狀態信息。氣體狀態檢測器配置在傳輸氣體的傳輸通道中,用以偵測氣體的多個氣體狀態信息??刂破麽槍σ后w狀態信息以及氣體狀態信息進行運算,藉以調整第一設定值以及第二設定值。第一設定值以及第二設定值分別用以驅動泵送馬達以及氣體驅動馬達。
聲明:
“氣體凈化裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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