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    自動進料的系統

    1073   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:32:28
    本實用新型提出了一種自動進料的系統，用于制備含硅薄膜，包括：機械手、低壓化學氣相沉積設備腔、控制器、檢測設備、電機，所述的機械手用于抓取襯底投放于所述的低壓化學氣相沉積設備腔內，所述的控制器能控制所述的電機帶動所述的機械手運轉或停止，所述的檢測設備檢測傳送至所述的低壓化學氣相沉積設備腔中的襯底是否足量。實施本實用新型的技術方案中，通過自動輸送生成含硅薄膜的襯底進入低壓化學氣相沉積設備腔，以方便進行化學反應，解放了人力，實現了自動化生產。
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    化學分析
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