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    高純氣體緩存、調節以及輸送柜

    830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:55:20
    本發明屬于化學氣體的儲存和控制技術領域，更具體地，涉及一種高純氣體緩存、調節以及輸送柜。采用可拆卸的分隔板和管道安裝板可以將氣柜做的很小的情形下，很便利的對不同功能區的氣體元件進行安裝、檢修和更換；采用保溫單元和密封條的組合可以確保不同的單元區氣體和溫度環境保持獨立、確保每個功能區的溫度精細控制，另外使用的材料不會有顆粒的產生，保證了潔凈度；采用高純氮氣對每個功能區保持微正壓，可以避免空氣中的粉塵、水汽進入柜體，給氣體元件營造一個高潔凈度、低濕度的環境；采用排風口，可以在檢測到有泄漏時及時開啟排風抽走而不用打開柜門，盡可能降低環境污染和對操作人員的傷害。
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    聲明：
    “高純氣體緩存、調節以及輸送柜” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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