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    不同階模態耦合的模態局部化微質量傳感器

    1013   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:04:30
    本發明公開了一種不同階模態耦合的模態局部化微質量傳感器，屬于微機電系統技術領域，包括：厚度不等的第一固支梁和第二固支梁；第一固定端對稱分布于第一固支梁兩端，第二固定端對稱分布于第二固支梁兩端；上耦合電極固定在第一固支梁的下表面，下耦合電極固定在第二固支梁的上表面；上耦合電極與下耦合電極之間由直流電壓構成靜電耦合；第一固支梁由驅動電源通過驅動電極驅動；當調節第一固支梁和第二固支梁的厚度為預設值，并通過驅動電壓對第一固支梁驅動以及耦合電壓產生靜電耦合時，第一固支梁工作在三階模態，第二固支梁工作在二階模態。相較于傳統的激勵一階模態的傳感器，本發明的靈敏度更高，可用于檢測病毒、蛋白質、化學藥品等物質。
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    “不同階模態耦合的模態局部化微質量傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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