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    高精度叉指電極、其制備方法和應用

    984   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:04:31
    本發明提供了一種高精度叉指電極、其制備方法和應用。本發明采用半導體薄膜工藝，采用磁控濺射方式在絕緣基體上加工金屬薄膜，光刻叉指電極線路圖案，顯影曝光形成圖形線路，蝕刻底層形成電極線路；去膠膜后即得所述高精度叉指電極。高精度叉指電極線寬線距為1～40μm，擁有導電內層和反應層，可用于生物分子檢測，具體可用于制備電化學免疫傳感器。
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    聲明：
    “高精度叉指電極、其制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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