• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 三維存儲器件的制造方法及其器件結構

    三維存儲器件的制造方法及其器件結構

    786   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:14:38
    本發明提供一種三維存儲器件的制造方法及其器件結構，在進行化學機械拋光操作以平坦化三維存儲器件表面的步驟之前，無需沉積氮化硅阻擋層作為化學機械拋光終止信號的操作，可以通過將位于三維存儲器件區和外圍電路區上方的氧化物絕緣層的厚度設置為比所述三維存儲器件的堆疊層的厚度更厚，并通過監測位于所述堆疊層的核心平臺區上方的氧化物絕緣層的厚度來確定后續化學機械拋光的時間，從而省略了傳統的通過沉積氮化硅阻擋層來作為化學機械拋光停止操作的步驟，并且減少了化學機械拋光工藝后殘留的各種缺陷問題，降低了制造成本和時間，提高工藝的穩定性和產品良率。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “三維存儲器件的制造方法及其器件結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：藥物篩選模型構建方法及裝置、篩選方法、設備和介質
    下一個：氮化碳光電極及其制備方法和應用

    與 “三維存儲器件的制造方法及其器件結構” 相關技術

    ? 高溫鋅合金熔煉用真空感應爐
    ? 高延伸率高強度高鋅Al-Zn-Cu鑄造合金及其制備方法
    ? 銅合金帶材的清洗方法
    ? 銅電鍍金屬化異質結鈣鈦礦疊層太陽能電池
    ? 銅合金絲線剪切裝置及其使用方法
    ? 防止偏移的金屬材料壓縮試驗裝置
    ? 用于柱狀拉伸試樣的測試夾具及其使用方法
    ? 用于鈦合金薄板的矯平方法
    ? 金屬板材加工用鉆孔裝置
    ? 金屬材料韌性檢測儀

    相關化學分析設備推薦

    數顯式彈簧拉壓試驗機
    倒置金相顯微鏡
    白光共聚焦光學輪廓儀
    微機控制電子扭轉試驗機（500Nm）
    高智能土壤養分速測儀 土壤測試儀
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?高溫鋅合金熔煉用真空感應爐
    ?高延伸率高強度高鋅Al-Zn-Cu鑄造合金及其制備方法
    ?銅合金帶材的清洗方法
    ?銅電鍍金屬化異質結鈣鈦礦疊層太陽能電池
    ?銅合金絲線剪切裝置及其使用方法
    ?防止偏移的金屬材料壓縮試驗裝置
    ?用于柱狀拉伸試樣的測試夾具及其使用方法
    ?用于鈦合金薄板的矯平方法
    ?金屬板材加工用鉆孔裝置
    ?金屬材料韌性檢測儀

    報名參會
    更多+

    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025年08月05日 ~ 07日
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
    2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
    2025年08月10日 ~ 12日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:139
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:96
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:92
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>